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科学家研制出可自我校准的微机电系统

  科学家已经开发出自校准MEMS

  微机电系统在未来的高新技术领域具有很大的应用潜力,但目前还存在着测量结果不够准确,存在偏差的不可逾越的缺陷。根据8月10日“大众科学”杂志的网站报道,普渡大学的研究人员已经找到了一种使MEMS自我校准的方法。这项研究成果有望开启各种超高精度的研究和开发。传感器和设备的大门在医学,工程和国防方面发挥着重要作用。微机电系统的规模小于十亿分之一米,在如此小的规模上制造这样的器件将不可避免地产生误差,确保MEMS的生产是完全一致的。由于没有可靠的方法来制造两个相同的微机电系统,所以必须采取一些校准措施以避免或最小化彼此测量中的误差。然而,在这个微观尺度下测量距离或力量也同样困难,到目前为止,还没有设定标准来校准两个MEMS的功能,以使它们的性能和测量完全相同。普渡大学开发的称为微电子计量的新技术可帮助工程师确定可应用于MEMS器件的力量。微电子测量技术通过测量MEMS的电子特性来定义其机械特性,因为在这样的微观尺度下,物理力的电子特性更容易测量。一旦获得MEMS器件的电容数据,研究人员就可以准确计算出MEMS器件的形状,硬度和力的大小。更具体地说,自校准MEMS意味着更高性能,更便宜的原子力显微镜,更高效的生物技术和纳米技术研究的高功率实验室工具,嗅探超化学威胁的超灵敏传感器甚至可以用来追踪或识别超灵敏的“芯片鼻子“的嫌疑人。
 

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